AOI

검사기, Automatic Optical Inspection

 

 

LED, 반도체, 글라스, 필터 등 다양한 분야에 적용가능한 검사기로,

카메라 모듈 분야에서는 IR필터를 다이싱 한 후, 원판상태에서 필터표면을 검사하는데 이용된다.

사용자 편의와 생산성 향상을 위해 매거진을 적용하고 있다. 제진 설계, 고정밀 제어 기술, 고속 영상처리 기술

최적화된 조명 기술, 고분해능 광학 기술로 다양한 결함과 5um의 검출력으로 짧은 검사시간을 구현하고 있다

 

 

 

 

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Specification

 

 Item

 Specification

 Inspection

 Two stages

 Loading/Unloading

 Auto

 Magazine

 Inspection

 Inspection Material

 IR Cut-off Filter/Blue Filter

 IR/AR

 Defect Items

 Dig/Chipping/Scratch*/Stain*

 Accuracy

 5.0 um

 Resolution

 1.4 um/pixel

 Inspection Region

 152 x 152 mm

 Image Field Size

 11.4 mm

 N.G Operation

 Marking

 Black pen marking

 N.G Map data

 N.G Map Data generated

 Utility

 EFU Ion Blower

ULPA @ 0.1um 9.9.999%

Effect Dis. 100~2000mm 

 Size (W x D x H)

 1,300 x 2,200 x 2,150mmm

 Weight

 2,200 kg

 Power

 220V/110V,Single Phase

 Air supply

 4~5kgf/cm²

 *Scratch/Stain : should be discussed with the customer