Bonder 5
High precision dispensing by linear motor
본 설비는 Dual Head를 이용하여 동시에 부착과 본딩을 진행하는 설비이다. Z축에 Gore Cable를 적용하여
파티클의 발생을 방지하였고, Taget X,Y축에 리니어 모터를 적용하여 정밀도를 향상시켰다.
아울러 Target에 고정 카메라를 적용 하여 안정적으로 이미지를 획득하게 하였다.
Item |
Specification |
|
Tact time |
3.5 sec (over 8M) |
3.2 sec |
UPH (100%) |
1,028 |
1,125 |
UPH (90%) |
925 |
1,012 |
Day (20Hrs) |
18,514 |
20,250 |
Month (25Days) |
463,000 |
506,000 |
Item |
4th generation |
5th generation |
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Tact time |
3.5 sec |
3.2 sec |
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Accuracy |
X axis |
±2um |
±2um |
Y axis |
±2um |
±2um |
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Z axis |
±5um |
±5um |
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Gore Cable |
X axis |
O |
O |
Y axis |
O |
O |
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Inspection on expoy disconnections |
X |
X |
|
Dedicated camera dispense and attachment | X | X |